Poids de l’Open access dans la production CNRS
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Titre
Features of microstructure of ZrN, Si3N4 and ZrN/SiNx nanoscale films irradiated by Xe ions
XX
BSO - Titre
Features of microstructure of ZrN, Si 3 N 4 and ZrN/SiN x nanoscale films irradiated by Xe ions
XX
DOI
DOI
10.1016/j.vacuum.2017.03.015
XX
DOAI
DOAI
10.1016/j.vacuum.2017.03.015
XX
Identifiant WoS
WOS:000407654900071
XX
Accès ouvert
OA - Non
XX
Source - Accès ouvert
OA - Non
XX
Type d'accès
Non OA
XX
Editeur
Elsevier
XX
Source
VACUUM
XX
ISSN
0042-207X
XX
Type de document
Article
XX
Notoriété
3 - Correcte
XX
CNRS
Oui
XX
CNRS - Institut
INSIS - Institut des sciences de l'ingénierie et des systèmes
XX
uid:/D090N92Q
12/10/2021 14:52:50 (latest)
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